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单频准分子激光，是脉冲气体激光，在电流通过时被激活，释放出某一波长的单色光。气体是由惰性气体和卤素混合而成，激活的惰性气体和卤素可形成卤化物 “Excimer”一词来自激态分子的意思，即受激态准分子是一种激态二聚体“Excimer Dimer”，这两个单词组合成 “Excimer”。目前应用的单频准分子激光主要有以下几种：氩氟（ArF）准分子激光 波长193nm；氪氟（KrF）准分子激光 波长248nm；氙氯（XeCl）准分子激光 波长308nm； 氙氟（XeF）准分子激光 波长351nm 等。